图 书 馆《薄膜物理与技术》
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2019-03-02，南昌大学图书馆，2019年03月 排名第 5 名
简介与推荐
【内容简介】本书主要论述了薄膜的制造技术与薄膜物理的基本内容,包括:各种成膜技术的基本原理与方法、化学气相沉积、膜厚的测量与监控等。
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