图 书 馆《半导体制造工艺基础》
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2021-10-13，南京理工大学图书馆，2021年10月 排名第 53 名
简介与推荐
【内容简介】本书介绍了从晶体生长到集成器件和电路的完整的半导体制造技术, 涵盖制造流程中主要步骤的理论和实践经验。主要内容包括: 半导体材料、半导体器件、半导体工艺技术、基本工艺步骤、从熔融硅中生长单晶硅、硅的区熔法单晶生长工艺、砷化镓晶体...的生长技术等。
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