《半导体制造工艺基础》（来自热书发现系统）

《半导体制造工艺基础》

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书名：半导体制造工艺基础

作者：施敏;梅凯瑞;吴秀龙;彭春雨;陈军宁

出版：安徽大学出版社,2020,ISBN:9787566419026

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2021-10-13，南京理工大学图书馆，2021年10月排名第 53 名

简介与推荐

【内容简介】本书介绍了从晶体生长到集成器件和电路的完整的半导体制造技术, 涵盖制造流程中主要步骤的理论和实践经验。主要内容包括: 半导体材料、半导体器件、半导体工艺技术、基本工艺步骤、从熔融硅中生长单晶硅、硅的区熔法单晶生长工艺、砷化镓晶体...

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