《微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》（来自热书发现系统）

《微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》

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书名：微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用

作者：顾长志

出版：科学出版社,2021,ISBN:9787030692542

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2022-12-28，湖北工业大学图书馆，2022年12月排名第 12 名

简介与推荐

【内容简介】本书简述微纳加工的主要方法及在纳米材料与器件研究中的应用，注重理论与实践的结合，包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印、刻蚀技术、薄膜技术、自组装加工，以及微纳加工在纳米材料与器件的电学、光学、磁学等研究领...

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