《集成电路制造技术》（来自热书发现系统）

《集成电路制造技术》

阅读次数：20

书名：集成电路制造技术

作者：王蔚;田丽;任明远

出版：电子工业出版社,2013,ISBN:9787121206801

借阅：浙大城市学院图书馆纸本馆藏

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2019-10-10，北华航天工业学院图书馆，2019年10月排名第 23 名

简介与推荐

【内容简介】本书分5个单元系统地介绍了当前硅集成电路制造普遍采用的工艺技术。第1单元介绍硅衬底，主要介绍硅单晶的结构特点，单晶硅锭的拉制，硅片（包含体硅片和外延硅片）的制造工艺及相关理论。第2-5单元介绍硅芯片制造基本单项工艺（氧化与掺杂、...

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