图 书 馆《纳米集成电路制造工艺》
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2026-09-16，山东大学图书馆，2026年09月 排名第 74 名
简介与推荐
【内容简介】本书介绍纳米集成电路的制造工艺, 共分19章。内容涉及集成电路制造工艺的方方面面, 很多内容是作者在工作过程中积累整理的。对于相关领域的从业人员, 有一定的参考价值。
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