《图解入门 半导体制造设备基础与构造精讲》
书名:图解入门 半导体制造设备基础与构造精讲
作者:佐藤淳一
出版:机械工业出版社,2022, ISBN:9787111708018
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简介与推荐
【内容简介】本书以简洁明了的结构向读者展现了半导体制造工艺中使用的设备基础和构造。全书涵盖了半导体制造设备的现状以及展望,同时也对清洗和干燥设备、离子注入设备、热处理设备、光刻设备、蚀刻设备、成膜设备、平坦化设备、监测和分析设备、后段制程设...
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发奋识遍天下字,立志读尽人间书。
——苏轼