《微电子工艺基础》
阅读次数:38
书名:微电子工艺基础
出版:化学工业出版社,2007;9787502595203
试读: CADAL | 读秀 | 畅想之星
互动:点击添加评论与留言
热榜来源
借阅领域情况:
2021-04-28沈阳工业大学图书馆,2021年04月 排名第 9
简介与推荐
【内容简介】本书共分10部分,主要内容包括硅材料及硅化合物化学性质,微电子技术中的高纯水制备,微电子技术中的化学清洗,氧化工艺技术,扩散工艺技术,刻蚀工艺技术等部分。
        
更多……


书籍是屹立在时间的汪洋大海中的灯塔。
——惠普尔