图 书 馆《微电子工艺基础》
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2021-04-28，沈阳工业大学图书馆，2021年04月 排名第 9 名
简介与推荐
【内容简介】本书共分10部分，主要内容包括硅材料及硅化合物化学性质，微电子技术中的高纯水制备，微电子技术中的化学清洗，氧化工艺技术，扩散工艺技术，刻蚀工艺技术等部分。
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