图 书 馆《高数值孔径投影光刻物镜的光学设计》
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2025-12-16，山东华宇工学院图书馆，2025年12月 排名第 17 名
简介与推荐
【内容简介】本书共五章，内容包括：绪论、高数值孔径投影光刻物镜的设计优化、高数值孔径投影光刻物镜的偏振像差研究、高数值孔径投影光刻物镜的像质补偿策略研究、总结与展望。
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