图 书 馆《微光机电系统（MOEMS）》
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2025-12-25，重庆科技大学图书馆，2025年12月 排名第 69 名
简介与推荐
【内容简介】本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术，如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺，封装技术等。
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