图 书 馆《一本书读懂芯片制程设备》
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2026-05-19，浙大宁波理工学院图书馆，2026年05月 排名第 78 名
简介与推荐
【内容简介】本书首先介绍了集成电路芯片制程及其设备，并分析了芯片制程设备的国内外市场环境；然后，针对具体工艺技术涉及的设备，综述了设备原理及市场情况；最后对我国集成电路芯片制程设备的发展做了总结展望。
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