图 书 馆《微纳米技术及其应用》
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2016-12-09，北京工业大学图书馆，2016年12月 排名第 19 名
简介与推荐
【内容简介】《微纳米技术及其应用》在概述了微机电系统技术（MEMS）的发展背景、现状及应用前景的基础上，论述了MEMS基本理论基础，并对MEMS相关工艺做了详尽的介绍。书中分别介绍了MEMS应用，数种典型的物理传感器和化学传感器的工作原理及...制造工艺；对各类微操作器/微执行器、微机械零件、微泵及微机电系统也做了比较详细的论述，之后介绍了与生物芯片相关的技术及纳米技术。
《微纳米技术及其应用》可供微电子、机电一体化、精密仪器及仪表等专业研究与技术人员参考，也可作为相关专业高年级与研究生的教学参考书。
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