图 书 馆《国外电子电气经典教材系列》
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2019-04-16，亚马逊销售排行，电工技术 类，2019年04月 排名第 12 名
简介与推荐
【内容简介】《国外电子电气经典教材系列:微机电系统基础(原书第2版)》第1版被翻译成3种文字出版，并已被美国一些著名大学作为教科书，在MEMS领域享有较高声誉。全书共分15章。第1、2章概括了基本传感原理和制造方法；第3章讨论了当今MEMS...实践中所必需的电学和机械工程基本知识；第4～9章分别描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法，及其相关的传感器与执行器；第10～11章详细介绍了微制造中最常用的体微机械加工和表面微机械加工技术，而器件制造方法则插入到实例研究中；第12章讨论了工艺技术的综合应用；第13章介绍了与聚合物有关的MEMS制造技术；第14章讨论了微流控原理及应用。根据这些敏感与执行方法以及制造方法；第15章选择了MEMS商业化产品实例进行介绍。 《国外电子电气经典教材系列:微机电系统基础(原书第2版)》循序渐进，体系严密，适合作为微机电系统（MEMS）、传感器、微电子、机械工程、仪器仪表等专业的高年级本科生和研究生教材，也适合于这些领域的科技人员参考。
【编辑推荐】 《国外电子电气经典教材系列:微机电系统基础(原书第2版)》全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文。为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感嚣、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法，既便于比较，又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。
【作者简介】 作者：（美国）刘昶 译者：黄庆安
刘昶，分别于1991年和1995年在美国加州理工学院获硕士和博士学位，1996年在美国伊利诺斯大学微电子实验室作博士后，1997年成为伊利诺斯大学电气与计算机工程系和机械与工业工程系联合任命的助理教授，2003年获得终身职位并任副教授，2007年加入美国西北大学并任正教授，创立了MedX实验室并开展医疗与健康方面的先进工程研究。Chang Liu在MEMS领域研究已经20年，发表200余篇国际期刊及会议论文，他的研究工作被广泛引用。他为本科生和研究生开设了多门课程，包括MEMS、固体电子学、机电学和传热学。他因利用MEMS技术开发人工毛发细胞方面的工作，于1998年获得美国国家科学基金会的CAREER奖。他目前担任国际期刊Journal of Microelectromechanical Systems的编委，曾任IEEESensors Journal的编委以及IEEE MEMS、IEEE Sensors等多种国际会议程序委员会成员，他是电气电子工程师协会会士（ IEEE Fellow）。
黄庆安，于1991年在东南大学获博士学位，后留校任教，1996年晋升教授，1997—1998年在香港科技大学作访问学者，2003年获国家杰出青年科学基金资助，2004年被聘为教育部“长江学者奖励计划”特聘教授。现担任东南大学MEMS教育部重点实验室主任。黄庆安在MEMS研究领域获教育部自然科学一等奖2项；获授权中国发明专利40余项；在国际期刊发表论文80余篇、国际会议100余篇；出版中文专著1本、MEMS英文丛书3章。曾担任SPIE Micromachining and Microfabrication Process Devices and Technology国际会议共同主席（Proc.SPIE，vol.4601，2001）；任IEEE Sensors国际会议程序委员会委员（2002—2012）、Transducers 2009＆2011国际会议程序委员会委员、国际期刊Journal of Micromechanics and Microengineering编委、国内期刊《传感技术学报》主编等学术职务。曾任国家“863”计划MEMS重大专项总体组专家、微纳制造技术主题专家组组长。1995年起任电气电子工程师协会高级会员（ IEEE Senior Member）。
【编辑推荐】 《国外电子电气经典教材系列:微机电系统基础(原书第2版)》全面论述了微机电系统（MEMS）的基础知识，涵盖了MEMS技术的主要方面，同时引用了经典的MEMS研究论文和前沿的研究论文。为学生深入学习MEMS技术提供了指引。书中提炼出了四个典型的传感器实例：惯性传感嚣、压力传感器、流量传感器和触觉传感器，并介绍了利用不同原理、材料和工艺制造这些传感器的方法，既便于比较，又可以启发学生的创新意识并提高创新能力。
【作者简介】 作者：（美国）刘昶 译者：黄庆安
刘昶，分别于1991年和1995年在美国加州理工学院获硕士和博士学位，1996年在美国伊利诺斯大学微电子实验室作博士后，1997年成为伊利诺斯大学电气与计算机工程系和机械与工业工程系联合任命的助理教授，2003年获得终身职位并任副教授，2007年加入美国西北大学并任正教授，创立了MedX实验室并开展医疗与健康方面的先进工程研究。Chang Liu在MEMS领域研究已经20年，发表200余篇国际期刊及会议论文，他的研究工作被广泛引用。他为本科生和研究生开设了多门课程，包括MEMS、固体电子学、机电学和传热学。他因利用MEMS技术开发人工毛发细胞方面的工作，于1998年获得美国国家科学基金会的CAREER奖。他目前担任国际期刊Journal of Microelectromechanical Systems的编委，曾任IEEESensors Journal的编委以及IEEE MEMS、IEEE Sensors等多种国际会议程序委员会成员，他是电气电子工程师协会会士（ IEEE Fellow）。
黄庆安，于1991年在东南大学获博士学位，后留校任教，1996年晋升教授，1997—1998年在香港科技大学作访问学者，2003年获国家杰出青年科学基金资助，2004年被聘为教育部“长江学者奖励计划”特聘教授。现担任东南大学MEMS教育部重点实验室主任。黄庆安在MEMS研究领域获教育部自然科学一等奖2项；获授权中国发明专利40余项；在国际期刊发表论文80余篇、国际会议100余篇；出版中文专著1本、MEMS英文丛书3章。曾担任SPIE Micromachining and Microfabrication Process Devices and Technology国际会议共同主席（Proc.SPIE，vol.4601，2001）；任IEEE Sensors国际会议程序委员会委员（2002—2012）、Transducers 2009＆2011国际会议程序委员会委员、国际期刊Journal of Micromechanics and Microengineering编委、国内期刊《传感技术学报》主编等学术职务。曾任国家“863”计划MEMS重大专项总体组专家、微纳制造技术主题专家组组长。1995年起任电气电子工程师协会高级会员（ IEEE Senior Member）。
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