图 书 馆《微电子制造科学原理与工程技术》
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2020-06-29，南京理工大学图书馆，2020年06月 排名第 79 名
简介与推荐
【内容简介】本书系统地介绍了微电子制造科学原理与工程技术, 覆盖了集成电路制造所涉及的所有基本单项工艺, 包括光刻、等离子体和反应离子刻蚀、离子注入、扩散、氧化、蒸发、气象外延生长、溅射和化学气相淀积等。
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